Estudio de sistemas de micro y nano fabricación procesos de micro mecanizado mecánico

Una visión general de las técnicas de micromecanizado de superficie donde se describen las principales aplicaciones. La tecnología de capa de sacrificio para la fabricación de estructuras de película delgada (por ejemplo, de polisilicio) bajo el grabado lateral de una capa independiente de sacrifici...

Full description

Autores:
Espinosa Díaz, David Ricardo
Riveros Cruz, Diego Alexander
Tipo de recurso:
Trabajo de grado de pregrado
Fecha de publicación:
2015
Institución:
Universidad ECCI
Repositorio:
Repositorio Institucional ECCI
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.ecci.edu.co:001/1871
Acceso en línea:
https://repositorio.ecci.edu.co/handle/001/1871
Palabra clave:
Fabricación
Matriz polimérica
Micromecanizado
Manufacturing
Polymer matrix
Micromachining
Rights
openAccess
License
Derechos Reservados - Universidad ECCI, 2015