Deformación elástica residual en láminas de acero aisi 304 recubiertas con una película de nitruro de titanio depositada por pvd-magnetron sputtering

se realizó una caracterización mediante difracción de rayos x (DRX) en láminas de acero inoxidable AISI 304 recubierto con una capa de nitruro de titanio de 3 mm de espesor, obtenida mediante deposición física de vapor (PVD-magnetron sputtering) a una temperatura de 200 ˚C. se tomaron imágenes de microscopía electrónica de barrido (MEB), microscopía óptica (MO) y microscopía de fuerza atómica (MFA) para caracterizar el sustrato, la capa y la zona cercana a la intercara. adicionalmente se determinó la deformación elástica residual asociada con el ensanchamiento de los picos de DRX.

• Autores: Colorado L., Henry Alonso; Salva, Horacio; Ghilarducci, Ada
• Tipo de recurso: Article of journal
• Fecha de publicación: 2009
• Institución: Universidad Nacional de Colombia
• Repositorio: Universidad Nacional de Colombia
• Idioma: spa
• OAI Identifier: oai:repositorio.unal.edu.co:unal/26887
• Acceso en línea: https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/26887; http://bdigital.unal.edu.co/17935/
• Palabra clave: Acero AISI 304; películas delgadas; TiN; deformación elástica residual; DRX.
• Rights: openAccess
• License: Atribución-NoComercial 4.0 Internacional