Recubrimientos duros en multicapas de cr/crn obtenidas por sputtering con magnetrón desbalanceado (ubm) y diferentes grados de desbalance
Como recubrimientos duros y tenaces con aplicaciones tribológicas y anticorrosivas, se obtuvieron Nano bicapas de Cr/CrN por sputtering reactivo en atmósferas de Ar y Ar+ N2 respectivamente sobre silicio y sobre acero H13 al cual se le hizo un tratamiento previo de temple y revenido. Se usaron flujo...
- Autores:
-
Piratoba, Ulises
- Tipo de recurso:
- Article of journal
- Fecha de publicación:
- 2011
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/44566
- Acceso en línea:
- https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/44566
http://bdigital.unal.edu.co/34665/
- Palabra clave:
- Recubrimientos duros
Multicapas de Cr/CrN
Magnetrón desbalanceado.
Hard coatings
multilayers of Cr/CrN
unbalanced magnetrón (UBM).
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
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Recubrimientos duros Multicapas de Cr/CrN Magnetrón desbalanceado. Hard coatings multilayers of Cr/CrN unbalanced magnetrón (UBM). |
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Recubrimientos duros Multicapas de Cr/CrN Magnetrón desbalanceado. Hard coatings multilayers of Cr/CrN unbalanced magnetrón (UBM). |
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Como recubrimientos duros y tenaces con aplicaciones tribológicas y anticorrosivas, se obtuvieron Nano bicapas de Cr/CrN por sputtering reactivo en atmósferas de Ar y Ar+ N2 respectivamente sobre silicio y sobre acero H13 al cual se le hizo un tratamiento previo de temple y revenido. Se usaron flujos de Ar y N2 de 9 y 3 sccm respectivamente, un magnetrón desbalanceado Gencoa VT 100, que permite variar el coeficiente geométrico de desbalance KG en el rango de 1.37 a 0.87, al variar la posición de su imán central. Se obtuvo una serie de 9 recubrimientos con 3 periodos de bicapa y 3 valores de KG y otra serie de 5 recubrimientos con 5 valores de KG. Todos los recubrimientos se caracterizaron mediante difracción de rayos x (XRD), microscopía electrónica de barrido (SEM) y microscopía de fuerza atómica (AFM) en modo de contacto y contacto intermitente o tapping. Los recubrimientos con espesores entre 1.08 y 1.67 µm, presentaron superficies con formaciones globulares, elipsoidales y piramidales. Con el aumento en el desbalance se incrementaron: la nanodureza, la velocidad de crecimiento de las películas y el tamaño de los granos superficiales. La composición porcentual de las fases Cr, CrN y Cr2N, y las intensidades en los planos de difracción, no mostraron una tendencia definida con el aumento del desbalance. |
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Piratoba, Ulises (2011) Recubrimientos duros en multicapas de cr/crn obtenidas por sputtering con magnetrón desbalanceado (ubm) y diferentes grados de desbalance. MOMENTO - Revista de Física; núm. 43 (2011); 33-43 0121-4470 . |
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