Recubrimientos duros en multicapas de cr/crn obtenidas por sputtering con magnetrón desbalanceado (ubm) y diferentes grados de desbalance

Como recubrimientos duros y tenaces con aplicaciones tribológicas y anticorrosivas, se obtuvieron Nano bicapas de Cr/CrN por sputtering reactivo en atmósferas de Ar y Ar+ N2 respectivamente sobre silicio y sobre acero H13 al cual se le hizo un tratamiento previo de temple y revenido. Se usaron flujos de Ar y N2 de 9 y 3 sccm respectivamente, un magnetrón desbalanceado Gencoa VT 100, que permite variar el coeficiente geométrico de desbalance KG en el rango de 1.37 a 0.87, al variar la posición de su imán central. Se obtuvo una serie de 9 recubrimientos con 3 periodos de bicapa y 3 valores de KG y otra serie de 5 recubrimientos con 5 valores de KG. Todos los recubrimientos se caracterizaron mediante difracción de rayos x (XRD), microscopía electrónica de barrido (SEM) y microscopía de fuerza atómica (AFM) en modo de contacto y contacto intermitente o tapping. Los recubrimientos con espesores entre 1.08 y 1.67 µm, presentaron superficies con formaciones globulares, elipsoidales y piramidales. Con el aumento en el desbalance se incrementaron: la nanodureza, la velocidad de crecimiento de las películas y el tamaño de los granos superficiales. La composición porcentual de las fases Cr, CrN y Cr2N, y las intensidades en los planos de difracción, no mostraron una tendencia definida con el aumento del desbalance.

• Autores: Piratoba, Ulises
• Tipo de recurso: Article of journal
• Fecha de publicación: 2011
• Institución: Universidad Nacional de Colombia
• Repositorio: Universidad Nacional de Colombia
• Idioma: spa
• OAI Identifier: oai:repositorio.unal.edu.co:unal/44566
• Acceso en línea: https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/44566; http://bdigital.unal.edu.co/34665/
• Palabra clave: Recubrimientos duros; Multicapas de Cr/CrN; Magnetrón desbalanceado.; Hard coatings; multilayers of Cr/CrN; unbalanced magnetrón (UBM).
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• License: Atribución-NoComercial 4.0 Internacional