Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de car...
- Autores:
-
Duarte, Julio Enrique
Fernández Morales, Flavio Humberto
Moreno Sereno, Mauricio
- Tipo de recurso:
- Article of journal
- Fecha de publicación:
- 2009
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/24576
- Acceso en línea:
- https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576
http://bdigital.unal.edu.co/15613/
- Palabra clave:
- Membrana
neumática
interferometría
infrarrojo
piezoresistivo.
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
id |
UNACIONAL2_8985aa60a7cc4daa017db9c5c4e248ec |
---|---|
oai_identifier_str |
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/24576 |
network_acronym_str |
UNACIONAL2 |
network_name_str |
Universidad Nacional de Colombia |
repository_id_str |
|
spelling |
Atribución-NoComercial 4.0 InternacionalDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Duarte, Julio Enriqueee8902db-d480-4648-b8d0-3e2e6b298516300Fernández Morales, Flavio Humbertoc2a83834-d951-44f0-be89-66766bb57a46300Moreno Sereno, Mauricio4a3b5d31-bcc4-435c-8043-e827585d51963002019-06-25T22:39:05Z2019-06-25T22:39:05Z2009https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576http://bdigital.unal.edu.co/15613/La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de caracterización de sensores en uso actualmente. Las técnicas ópticas son las más analizadas, especialmente la técnica interferométrica, utilizada para caracterizar membranas neumáticas de Si construidas en el Centro Nacional de Microelectrónica, de la Universidad Autónoma de Barcelona, y caracterizadas en el Departamento de Electrónica de la Universidad de Barcelona, Barcelona, España.application/pdfspaUniversidad Nacional de Colombia Sede Medellínhttp://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/10256Universidad Nacional de Colombia Revistas electrónicas UN DynaDynaDyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353Duarte, Julio Enrique and Fernández Morales, Flavio Humberto and Moreno Sereno, Mauricio (2009) Técnicas de medida para pequeños desplazamientos. Dyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353 .Técnicas de medida para pequeños desplazamientosArtículo de revistainfo:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85Texthttp://purl.org/redcol/resource_type/ARTMembrananeumáticainterferometríainfrarrojopiezoresistivo.ORIGINAL10256-19098-1-PB.pdfapplication/pdf969597https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/1/10256-19098-1-PB.pdf6fbecf58c69ca3b55115ca539fb28292MD5110256-34424-1-PB.htmtext/html43493https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/2/10256-34424-1-PB.htm17026bebd69c383598281c19782fd8afMD52THUMBNAIL10256-19098-1-PB.pdf.jpg10256-19098-1-PB.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg8260https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/3/10256-19098-1-PB.pdf.jpg1132ed0ca496755e0209ccc4de45d408MD53unal/24576oai:repositorio.unal.edu.co:unal/245762023-10-17 23:05:50.515Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombiarepositorio_nal@unal.edu.co |
dc.title.spa.fl_str_mv |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
title |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
spellingShingle |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos Membrana neumática interferometría infrarrojo piezoresistivo. |
title_short |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
title_full |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
title_fullStr |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
title_full_unstemmed |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
title_sort |
Técnicas de medida para pequeños desplazamientos |
dc.creator.fl_str_mv |
Duarte, Julio Enrique Fernández Morales, Flavio Humberto Moreno Sereno, Mauricio |
dc.contributor.author.spa.fl_str_mv |
Duarte, Julio Enrique Fernández Morales, Flavio Humberto Moreno Sereno, Mauricio |
dc.subject.proposal.spa.fl_str_mv |
Membrana neumática interferometría infrarrojo piezoresistivo. |
topic |
Membrana neumática interferometría infrarrojo piezoresistivo. |
description |
La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de caracterización de sensores en uso actualmente. Las técnicas ópticas son las más analizadas, especialmente la técnica interferométrica, utilizada para caracterizar membranas neumáticas de Si construidas en el Centro Nacional de Microelectrónica, de la Universidad Autónoma de Barcelona, y caracterizadas en el Departamento de Electrónica de la Universidad de Barcelona, Barcelona, España. |
publishDate |
2009 |
dc.date.issued.spa.fl_str_mv |
2009 |
dc.date.accessioned.spa.fl_str_mv |
2019-06-25T22:39:05Z |
dc.date.available.spa.fl_str_mv |
2019-06-25T22:39:05Z |
dc.type.spa.fl_str_mv |
Artículo de revista |
dc.type.coar.fl_str_mv |
http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1 |
dc.type.driver.spa.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/article |
dc.type.version.spa.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type.coar.spa.fl_str_mv |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
dc.type.coarversion.spa.fl_str_mv |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
dc.type.content.spa.fl_str_mv |
Text |
dc.type.redcol.spa.fl_str_mv |
http://purl.org/redcol/resource_type/ART |
format |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
status_str |
publishedVersion |
dc.identifier.uri.none.fl_str_mv |
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576 |
dc.identifier.eprints.spa.fl_str_mv |
http://bdigital.unal.edu.co/15613/ |
url |
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576 http://bdigital.unal.edu.co/15613/ |
dc.language.iso.spa.fl_str_mv |
spa |
language |
spa |
dc.relation.spa.fl_str_mv |
http://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/10256 |
dc.relation.ispartof.spa.fl_str_mv |
Universidad Nacional de Colombia Revistas electrónicas UN Dyna Dyna |
dc.relation.ispartofseries.none.fl_str_mv |
Dyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353 |
dc.relation.references.spa.fl_str_mv |
Duarte, Julio Enrique and Fernández Morales, Flavio Humberto and Moreno Sereno, Mauricio (2009) Técnicas de medida para pequeños desplazamientos. Dyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353 . |
dc.rights.spa.fl_str_mv |
Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia |
dc.rights.coar.fl_str_mv |
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
dc.rights.license.spa.fl_str_mv |
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional |
dc.rights.uri.spa.fl_str_mv |
http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ |
dc.rights.accessrights.spa.fl_str_mv |
info:eu-repo/semantics/openAccess |
rights_invalid_str_mv |
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 |
eu_rights_str_mv |
openAccess |
dc.format.mimetype.spa.fl_str_mv |
application/pdf |
dc.publisher.spa.fl_str_mv |
Universidad Nacional de Colombia Sede Medellín |
institution |
Universidad Nacional de Colombia |
bitstream.url.fl_str_mv |
https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/1/10256-19098-1-PB.pdf https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/2/10256-34424-1-PB.htm https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/3/10256-19098-1-PB.pdf.jpg |
bitstream.checksum.fl_str_mv |
6fbecf58c69ca3b55115ca539fb28292 17026bebd69c383598281c19782fd8af 1132ed0ca496755e0209ccc4de45d408 |
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv |
MD5 MD5 MD5 |
repository.name.fl_str_mv |
Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombia |
repository.mail.fl_str_mv |
repositorio_nal@unal.edu.co |
_version_ |
1814089777545216000 |