Técnicas de medida para pequeños desplazamientos

La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de car...

Full description

Autores:
Duarte, Julio Enrique
Fernández Morales, Flavio Humberto
Moreno Sereno, Mauricio
Tipo de recurso:
Article of journal
Fecha de publicación:
2009
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/24576
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576
http://bdigital.unal.edu.co/15613/
Palabra clave:
Membrana
neumática
interferometría
infrarrojo
piezoresistivo.
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
id UNACIONAL2_8985aa60a7cc4daa017db9c5c4e248ec
oai_identifier_str oai:repositorio.unal.edu.co:unal/24576
network_acronym_str UNACIONAL2
network_name_str Universidad Nacional de Colombia
repository_id_str
spelling Atribución-NoComercial 4.0 InternacionalDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Duarte, Julio Enriqueee8902db-d480-4648-b8d0-3e2e6b298516300Fernández Morales, Flavio Humbertoc2a83834-d951-44f0-be89-66766bb57a46300Moreno Sereno, Mauricio4a3b5d31-bcc4-435c-8043-e827585d51963002019-06-25T22:39:05Z2019-06-25T22:39:05Z2009https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576http://bdigital.unal.edu.co/15613/La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de caracterización de sensores en uso actualmente. Las técnicas ópticas son las más analizadas, especialmente la técnica interferométrica, utilizada para caracterizar membranas neumáticas de Si construidas en el Centro Nacional de Microelectrónica, de la Universidad Autónoma de Barcelona, y caracterizadas en el Departamento de Electrónica de la Universidad de Barcelona, Barcelona, España.application/pdfspaUniversidad Nacional de Colombia Sede Medellínhttp://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/10256Universidad Nacional de Colombia Revistas electrónicas UN DynaDynaDyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353Duarte, Julio Enrique and Fernández Morales, Flavio Humberto and Moreno Sereno, Mauricio (2009) Técnicas de medida para pequeños desplazamientos. Dyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353 .Técnicas de medida para pequeños desplazamientosArtículo de revistainfo:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85Texthttp://purl.org/redcol/resource_type/ARTMembrananeumáticainterferometríainfrarrojopiezoresistivo.ORIGINAL10256-19098-1-PB.pdfapplication/pdf969597https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/1/10256-19098-1-PB.pdf6fbecf58c69ca3b55115ca539fb28292MD5110256-34424-1-PB.htmtext/html43493https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/2/10256-34424-1-PB.htm17026bebd69c383598281c19782fd8afMD52THUMBNAIL10256-19098-1-PB.pdf.jpg10256-19098-1-PB.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg8260https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/3/10256-19098-1-PB.pdf.jpg1132ed0ca496755e0209ccc4de45d408MD53unal/24576oai:repositorio.unal.edu.co:unal/245762023-10-17 23:05:50.515Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombiarepositorio_nal@unal.edu.co
dc.title.spa.fl_str_mv Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
title Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
spellingShingle Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
Membrana
neumática
interferometría
infrarrojo
piezoresistivo.
title_short Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
title_full Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
title_fullStr Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
title_full_unstemmed Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
title_sort Técnicas de medida para pequeños desplazamientos
dc.creator.fl_str_mv Duarte, Julio Enrique
Fernández Morales, Flavio Humberto
Moreno Sereno, Mauricio
dc.contributor.author.spa.fl_str_mv Duarte, Julio Enrique
Fernández Morales, Flavio Humberto
Moreno Sereno, Mauricio
dc.subject.proposal.spa.fl_str_mv Membrana
neumática
interferometría
infrarrojo
piezoresistivo.
topic Membrana
neumática
interferometría
infrarrojo
piezoresistivo.
description La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de caracterización de sensores en uso actualmente. Las técnicas ópticas son las más analizadas, especialmente la técnica interferométrica, utilizada para caracterizar membranas neumáticas de Si construidas en el Centro Nacional de Microelectrónica, de la Universidad Autónoma de Barcelona, y caracterizadas en el Departamento de Electrónica de la Universidad de Barcelona, Barcelona, España.
publishDate 2009
dc.date.issued.spa.fl_str_mv 2009
dc.date.accessioned.spa.fl_str_mv 2019-06-25T22:39:05Z
dc.date.available.spa.fl_str_mv 2019-06-25T22:39:05Z
dc.type.spa.fl_str_mv Artículo de revista
dc.type.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1
dc.type.driver.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
dc.type.version.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.coar.spa.fl_str_mv http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
dc.type.coarversion.spa.fl_str_mv http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
dc.type.content.spa.fl_str_mv Text
dc.type.redcol.spa.fl_str_mv http://purl.org/redcol/resource_type/ART
format http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.none.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576
dc.identifier.eprints.spa.fl_str_mv http://bdigital.unal.edu.co/15613/
url https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/24576
http://bdigital.unal.edu.co/15613/
dc.language.iso.spa.fl_str_mv spa
language spa
dc.relation.spa.fl_str_mv http://revistas.unal.edu.co/index.php/dyna/article/view/10256
dc.relation.ispartof.spa.fl_str_mv Universidad Nacional de Colombia Revistas electrónicas UN Dyna
Dyna
dc.relation.ispartofseries.none.fl_str_mv Dyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353
dc.relation.references.spa.fl_str_mv Duarte, Julio Enrique and Fernández Morales, Flavio Humberto and Moreno Sereno, Mauricio (2009) Técnicas de medida para pequeños desplazamientos. Dyna; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 DYNA; Vol. 76, núm. 158 (2009); 167-176 2346-2183 0012-7353 .
dc.rights.spa.fl_str_mv Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
dc.rights.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.rights.license.spa.fl_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
dc.rights.uri.spa.fl_str_mv http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
dc.rights.accessrights.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.mimetype.spa.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.spa.fl_str_mv Universidad Nacional de Colombia Sede Medellín
institution Universidad Nacional de Colombia
bitstream.url.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/1/10256-19098-1-PB.pdf
https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/2/10256-34424-1-PB.htm
https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/24576/3/10256-19098-1-PB.pdf.jpg
bitstream.checksum.fl_str_mv 6fbecf58c69ca3b55115ca539fb28292
17026bebd69c383598281c19782fd8af
1132ed0ca496755e0209ccc4de45d408
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombia
repository.mail.fl_str_mv repositorio_nal@unal.edu.co
_version_ 1814089777545216000