Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering

El titanato de bismuto (Bi4Ti3O12) es un material que presenta propiedades ferro eléctricas, piezoeléctricas y piro eléctricas, ´útiles para dispositivos electrónicos. En esta investigación, se estudiaron las propiedades estructurales, morfológicas, químicas y ferro eléctricos de películas delgadas...

Full description

Autores:
Bedoya Hincapié, Claudia Milena
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2013
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/21150
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/21150
http://bdigital.unal.edu.co/11901/
Palabra clave:
53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Sputtering
Titanato de bismuto
Ferro electricidad
Atmósfera
Tratamiento térmico
Método Monte Carlo
Bismuth titanate
Ferroelectricity
Atmosphere
Thermal treatment
Monte Carlo method
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
id UNACIONAL2_4a8368fdb2c99591a0ff55ceebc851bd
oai_identifier_str oai:repositorio.unal.edu.co:unal/21150
network_acronym_str UNACIONAL2
network_name_str Universidad Nacional de Colombia
repository_id_str
dc.title.spa.fl_str_mv Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
title Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
spellingShingle Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Sputtering
Titanato de bismuto
Ferro electricidad
Atmósfera
Tratamiento térmico
Método Monte Carlo
Bismuth titanate
Ferroelectricity
Atmosphere
Thermal treatment
Monte Carlo method
title_short Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
title_full Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
title_fullStr Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
title_full_unstemmed Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
title_sort Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering
dc.creator.fl_str_mv Bedoya Hincapié, Claudia Milena
dc.contributor.advisor.spa.fl_str_mv Olaya Flórez, Jhon Jairo (Thesis advisor)
dc.contributor.author.spa.fl_str_mv Bedoya Hincapié, Claudia Milena
dc.contributor.spa.fl_str_mv Restrepo Parra, Elisabeth
dc.subject.ddc.spa.fl_str_mv 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
topic 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Sputtering
Titanato de bismuto
Ferro electricidad
Atmósfera
Tratamiento térmico
Método Monte Carlo
Bismuth titanate
Ferroelectricity
Atmosphere
Thermal treatment
Monte Carlo method
dc.subject.proposal.spa.fl_str_mv Sputtering
Titanato de bismuto
Ferro electricidad
Atmósfera
Tratamiento térmico
Método Monte Carlo
Bismuth titanate
Ferroelectricity
Atmosphere
Thermal treatment
Monte Carlo method
description El titanato de bismuto (Bi4Ti3O12) es un material que presenta propiedades ferro eléctricas, piezoeléctricas y piro eléctricas, ´útiles para dispositivos electrónicos. En esta investigación, se estudiaron las propiedades estructurales, morfológicas, químicas y ferro eléctricos de películas delgadas Bi4Ti3O12 depositadas sobre sustratos de Si (100) mediante la técnica de magnetrón sputtering rf y obtenidos por tratamiento térmico en atmósferas de oxígeno y aire seco. Los resultados mostraron el carácter ferro eléctrico de las películas debido a la formación de la fase Bi4Ti3O12 según resultados de difracción de rayos X, Espectroscopia Raman e infrarroja. Las películas ferro eléctricamente presentaron una influencia significativa de la atmósfera de tratamiento térmico por la producción de defectos puntuales, que impiden el movimiento de dipolos. Morfológicamente las películas mostraron superficies suaves con un mayor tamaño de grano y rugosidad en aire, así como en una mejor respuesta ferro eléctrico. También se simularon los ciclos de histéresis de ferro eléctricos con defectos de dipolos anclados, mediante el método Monte Carlo.
publishDate 2013
dc.date.issued.spa.fl_str_mv 2013
dc.date.accessioned.spa.fl_str_mv 2019-06-25T18:58:24Z
dc.date.available.spa.fl_str_mv 2019-06-25T18:58:24Z
dc.type.spa.fl_str_mv Trabajo de grado - Maestría
dc.type.driver.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
dc.type.version.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
dc.type.content.spa.fl_str_mv Text
dc.type.redcol.spa.fl_str_mv http://purl.org/redcol/resource_type/TM
status_str acceptedVersion
dc.identifier.uri.none.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/21150
dc.identifier.eprints.spa.fl_str_mv http://bdigital.unal.edu.co/11901/
url https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/21150
http://bdigital.unal.edu.co/11901/
dc.language.iso.spa.fl_str_mv spa
language spa
dc.relation.ispartof.spa.fl_str_mv Universidad Nacional de Colombia Sede Bogotá Facultad de Ingeniería Departamento de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica Ingeniería Mecatrónica
Ingeniería Mecatrónica
dc.relation.references.spa.fl_str_mv Bedoya Hincapié, Claudia Milena (2013) Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia.
dc.rights.spa.fl_str_mv Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
dc.rights.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.rights.license.spa.fl_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
dc.rights.uri.spa.fl_str_mv http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
dc.rights.accessrights.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.mimetype.spa.fl_str_mv application/pdf
institution Universidad Nacional de Colombia
bitstream.url.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/21150/1/claudiabedoya.2013.pdf
https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/21150/2/claudiabedoya.2013.pdf.jpg
bitstream.checksum.fl_str_mv 9fbc4eeaa314596fbe9597b9115e8c7c
e2cfe0c0e877558bd898bbaf2d5e07fc
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombia
repository.mail.fl_str_mv repositorio_nal@unal.edu.co
_version_ 1814089887975997440
spelling Atribución-NoComercial 4.0 InternacionalDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Restrepo Parra, ElisabethOlaya Flórez, Jhon Jairo (Thesis advisor)37b185e2-55dc-497a-b5b4-00cc788dd29b-1Bedoya Hincapié, Claudia Milena2100cb75-89c3-478f-b4b0-071290432c873002019-06-25T18:58:24Z2019-06-25T18:58:24Z2013https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/21150http://bdigital.unal.edu.co/11901/El titanato de bismuto (Bi4Ti3O12) es un material que presenta propiedades ferro eléctricas, piezoeléctricas y piro eléctricas, ´útiles para dispositivos electrónicos. En esta investigación, se estudiaron las propiedades estructurales, morfológicas, químicas y ferro eléctricos de películas delgadas Bi4Ti3O12 depositadas sobre sustratos de Si (100) mediante la técnica de magnetrón sputtering rf y obtenidos por tratamiento térmico en atmósferas de oxígeno y aire seco. Los resultados mostraron el carácter ferro eléctrico de las películas debido a la formación de la fase Bi4Ti3O12 según resultados de difracción de rayos X, Espectroscopia Raman e infrarroja. Las películas ferro eléctricamente presentaron una influencia significativa de la atmósfera de tratamiento térmico por la producción de defectos puntuales, que impiden el movimiento de dipolos. Morfológicamente las películas mostraron superficies suaves con un mayor tamaño de grano y rugosidad en aire, así como en una mejor respuesta ferro eléctrico. También se simularon los ciclos de histéresis de ferro eléctricos con defectos de dipolos anclados, mediante el método Monte Carlo.Abstract. Bismuth titanate (Bi4Ti3O12) is a material that shows ferroelectric, piezoelectric and pyroelectric properties, suitable for electronic devices. In this research, the structural, morphological, chemical and ferroelectric properties of Bi4Ti3O12 thin films deposited onto Si(100) by means of magnetron sputtering rf technique and obtained by thermal treatment in oxygen and dry air atmospheres were studied. Results showed the ferroelectric character of the thin films due to the formation of Bi4Ti3O12 according to X ray diffraction, Raman and Infrared spectroscopy results. From ferroelectric behavior the thin films exhibited a significant influence of annealing atmosphere by yielding point defects which prevent the dipole movement. A smooth surface with higher grain size and roughness were observed in morphology results for thin films in air atmosphere, and a better ferroelectric response as well. Also hysteresis loops of ferroelectrics with pinned dipole defects were simulated through Monte Carlo Method.Maestríaapplication/pdfspaUniversidad Nacional de Colombia Sede Bogotá Facultad de Ingeniería Departamento de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica Ingeniería MecatrónicaIngeniería MecatrónicaBedoya Hincapié, Claudia Milena (2013) Crecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputtering. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia.53 Física / Physics62 Ingeniería y operaciones afines / EngineeringSputteringTitanato de bismutoFerro electricidadAtmósferaTratamiento térmicoMétodo Monte CarloBismuth titanateFerroelectricityAtmosphereThermal treatmentMonte Carlo methodCrecimiento y caracterización eléctrica y estructural de películas delgadas de bixTiyOz producidas mediante magnetrón sputteringTrabajo de grado - Maestríainfo:eu-repo/semantics/masterThesisinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersionTexthttp://purl.org/redcol/resource_type/TMORIGINALclaudiabedoya.2013.pdfapplication/pdf17321044https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/21150/1/claudiabedoya.2013.pdf9fbc4eeaa314596fbe9597b9115e8c7cMD51THUMBNAILclaudiabedoya.2013.pdf.jpgclaudiabedoya.2013.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg5100https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/21150/2/claudiabedoya.2013.pdf.jpge2cfe0c0e877558bd898bbaf2d5e07fcMD52unal/21150oai:repositorio.unal.edu.co:unal/211502023-09-30 23:05:15.338Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombiarepositorio_nal@unal.edu.co