Síntesis y caracterización de sistemas en monocapas y bicapas Tin/Tic utilizando plasmas producidos por arco pulsado (2008)
Películas de TiN, TiC y bicapas de TiN/TiC fueron crecidas sobre sustratos de acero inoxidable 304 por la técnica PAPVD por arco catódico pulsado variando la temperatura del sustrato en un rango entre 50 ºC y 250 ºC. Para las variaciones de temperatura se diseño un sistema de calentamiento en el interior del ánodo donde las muestras son colocadas. Un blanco de titanio (6N) fue utilizado como cátodo (material de aporte). Se encontró que el incremento en la temperatura del sustrato para las monocapas de TiC favorece el crecimiento del tamaño de cristalito hasta un valor de 62 nm. El coeficiente de textura cristalográfico para el plano (111) no mostró un incremento considerable con respecto al patrón policristalino en polvo de TiC. En cambio para las monocapas de TiN se encontró que el coeficiente de textura para el plano (111) no presenta una tendencia encontrando una competencia con el plano (200). Además, el tamaño de cristalito tiende a incrementar exponencialmente como función de la temperatura. Con respecto a la microdeformación se encontró que es menor para las películas de TiN en un orden de magnitud con respecto a la microdeformación de TiC. Mediante XPS se identificaron para las películas de TiC los enlaces Ti-C, Ti-O y un enlace C-C sobre toda la película. Para TiN enlaces Ti-N y Ti-O fueron encontrados. Para las bicapas se utilizaron métodos deconvolutivos basados en el refinamiento Rietveld. Se encontró que el tamaño de cristalito es posiblemente interrumpido por fases de carbón a temperaturas de 200 ºC y 250 ºC. La deformación térmica y de coherencia de la película de TiC en la bicapa es reducida en comparación a la deformación de la película de TiC en monocapa que en alguna medida es reflejado por la aproximación en la posición 2 theta con respecto al patrón polvo de TiC. Con XPS se realizó un perfil de profundidad para verificar la existencia de una bicapa. Los enlaces Ti-C y C-C para TiC y los enlaces Ti-N y Ti-O para TiN fueron encontrados. (Texto tomado de la fuente)