Producción y caracterización de bicapas de DLC/ZrxOy usando técnicas de sputtering y CVD asistido por plasma (2017)
Este trabajo describe la síntesis de una bicapa compuesta de diamante como carbón (DLC) con una intercapa de Zirconia (ZrO2), la cual fue sintetizada por medio de un sistema deposición química en fase vapor por microondas (MPCVD) para el DLC y Sputtering por R.F. para la intercapa de ZrO2, el deposito fue hecho sobre substratos de acero inoxidable AISI 316 L, aleación de titanio Ti6Al4V y silicio (400), usando como una mezcla de metano e hidrogeno (CH4 + H2) para la capa de DLC, la intercapa de ZrO2 se realizó usando un blanco de ZrO2 estabilizado con itrio al 8% (YZS). La adición de silicio durante el depósito de la intercapa de ZrO2 resulta en una contribución para lograr crecer y adherir la capa de DLC. Las películas fueron caracterizadas en su composición química usando EDS, la estructura a partir de espectroscopia Raman para el DLC y difracción de rayos X (XRD) para la intercapa de ZrO2, la morfología fue analizada por medio de AFM y FE-SEM. Durante el depósito de la película de DLC vía MPCVD los efectos de la variación del voltaje BIAS (-200 V, -250 V, -300 V) tanto en la estructura química como en las propiedades de resistencia al desgaste y la corrosión fueron estudiados. Se analizó el comportamiento de la bicapa en diferentes condiciones de carga y velocidad durante el ensayo de desgaste, para evaluar la transición de mecanismos y la tasa de desgaste en diferentes condiciones. El volumen perdido y el COF en función del voltaje de autopolarización aplicado al momento del depósito de la capa de DLC. El comportamiento frente a la corrosión se determinó por medio de la técnica de polarización potenciodinámica.