Desarrollo de un recubrimiento de media entropía (titazrnb)nx fabricado mediante pulverización catódica. (2023)
RESUMEN : Se depositaron recubrimientos de mediana entropía de (TiTaZrNb)Nx sobre sustratos de acero y obleas de silicio (100) usando pulverización catódica con magnetron con variación del flujo de nitrógeno (9sccm a 21 sccm) y de la presión de trabajo (0,2 Pa y 0,4 Pa). La tasa de pulverización fue mayor para los recubrimientos con menor presión; los recubrimientos tienen morfología tipo coliflor con crecimiento columnar denso, siendo los recubrimientos con menor presión más densos. Los recubrimientos a la presión superior de 0,4 Pa presentaron un tamaño de grano mayor y menor rugosidad. La microestructura de los recubrimientos es cubica centrada en las caras (FCC) con crecimiento preferencial en el plano (200), a mayor flujo de nitrógeno y presión se observa la formación de nitruros binarios. La dureza de los recubrimientos aumenta con la disminución de la presión y a mayores flujos de nitrógeno, alcanzando una la dureza máxima de 23,4 ± 0,7 GPa el recubrimiento con presión de 0,2 Pa y flujo de nitrógeno de 12 sccm. El comportamiento tribológico de los recubrimientos se determinó para cada presión; los recubrimientos que tuvieron menor tasa de desgaste fueron los que alcanzaron durezas más altas.