Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD

Películas delgadas de carbón tipo diamante (DLC) y nitruro de boro fueron depositadas sobre sustratos de vidrio en forma de bicapas, usando la técnica de deposición por láser pulsado. Tal deposición se realizó con un láser Nd:YAG de 1064 nm (en el infrarrojo), energía de 500 mJ por pulso, 9 ns de du...

Full description

Autores:
Román, Wilson
López, Leonardo
Riascos, Henry
Tipo de recurso:
Article of journal
Fecha de publicación:
2016
Institución:
Universidad Autónoma de Occidente
Repositorio:
RED: Repositorio Educativo Digital UAO
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:red.uao.edu.co:10614/10668
Acceso en línea:
http://hdl.handle.net/10614/10668
Palabra clave:
carbono tipo diamante
nitruro de boro
nitrógeno
nitruro de boro
nitrógeno
boro
Rights
openAccess
License
Derechos Reservados - Universidad Autónoma de Occidente
id REPOUAO2_4426397920a3d25e39d22a5d2a64bd25
oai_identifier_str oai:red.uao.edu.co:10614/10668
network_acronym_str REPOUAO2
network_name_str RED: Repositorio Educativo Digital UAO
repository_id_str
dc.title.spa.fl_str_mv Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
title Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
spellingShingle Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
carbono tipo diamante
nitruro de boro
nitrógeno
nitruro de boro
nitrógeno
boro
title_short Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
title_full Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
title_fullStr Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
title_full_unstemmed Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
title_sort Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD
dc.creator.fl_str_mv Román, Wilson
López, Leonardo
Riascos, Henry
dc.contributor.author.spa.fl_str_mv Román, Wilson
López, Leonardo
Riascos, Henry
dc.subject.spa.fl_str_mv carbono tipo diamante
nitruro de boro
nitrógeno
topic carbono tipo diamante
nitruro de boro
nitrógeno
nitruro de boro
nitrógeno
boro
dc.subject.lemb.spa.fl_str_mv nitruro de boro
dc.subject.armarc.spa.fl_str_mv nitrógeno
boro
description Películas delgadas de carbón tipo diamante (DLC) y nitruro de boro fueron depositadas sobre sustratos de vidrio en forma de bicapas, usando la técnica de deposición por láser pulsado. Tal deposición se realizó con un láser Nd:YAG de 1064 nm (en el infrarrojo), energía de 500 mJ por pulso, 9 ns de duración del pulso y tasa de repetición de 10 Hz. Usando blancos de nitruro de boro (99.999 %) y grafito pirolítico (99.99 %) se crecieron bicapas de DLC/BN, respectivamente. Las capas de DLC se crecieron en atmósfera de argón, mientras que las de BN se crecieron en atmósfera de nitrógeno. La presión del gas de trabajo se varió entre 1,33 Pa a 5,33 Pa. La fluencia del láser y la temperatura del sustrato se mantuvieron constantes a 2J/cm2 y 150 ºC, respectivamente. Para determinar la influencia de la presión del gas ambiente sobre las propiedades físicas y químicas, se caracterizaron las películas mediante difracción de rayos X en haz rasante (GIXRD) y espectroscopia infrarroja con transformada de Fourier (FTIR); además, la morfología de las películas se estudió por medio de microscopia electrónica de barrido (SEM), las propiedades mecánicas se analizaron a través de nanoindentación y el espesor fue en promedio de 2,5 µm, determinado con perfilometría.
publishDate 2016
dc.date.issued.spa.fl_str_mv 2016-06
dc.date.accessioned.spa.fl_str_mv 2019-02-08T21:15:32Z
dc.date.available.spa.fl_str_mv 2019-02-08T21:15:32Z
dc.type.spa.fl_str_mv Artículo de revista
dc.type.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1
dc.type.coarversion.fl_str_mv http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
dc.type.coar.spa.fl_str_mv http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
dc.type.content.spa.fl_str_mv Text
dc.type.driver.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
dc.type.redcol.spa.fl_str_mv http://purl.org/redcol/resource_type/ARTREF
dc.type.version.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
format http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
status_str publishedVersion
dc.identifier.issn.spa.fl_str_mv 0121-0777
dc.identifier.uri.spa.fl_str_mv http://hdl.handle.net/10614/10668
identifier_str_mv 0121-0777
url http://hdl.handle.net/10614/10668
dc.language.iso.spa.fl_str_mv spa
language spa
dc.rights.spa.fl_str_mv Derechos Reservados - Universidad Autónoma de Occidente
dc.rights.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.rights.uri.spa.fl_str_mv https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
dc.rights.accessrights.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.creativecommons.spa.fl_str_mv Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)
rights_invalid_str_mv Derechos Reservados - Universidad Autónoma de Occidente
https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.spa.fl_str_mv application/pdf
dc.format.extent.spa.fl_str_mv páginas 47-53
dc.coverage.spatial.spa.fl_str_mv Universidad Autónoma de Occidente. Calle 25 115-85. Km 2 vía Cali-Jamundí
dc.publisher.spa.fl_str_mv Universidad Autónoma de Occidente
dc.source.spa.fl_str_mv instname:Universidad Autónoma de Occidente
reponame:Repositorio Institucional UAO
instname_str Universidad Autónoma de Occidente
institution Universidad Autónoma de Occidente
reponame_str Repositorio Institucional UAO
collection Repositorio Institucional UAO
bitstream.url.fl_str_mv https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/41aa6bb7-3a0f-4769-9d56-656a23f8ece5/download
https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/6eae0b7e-b5c6-4761-ab8e-3066070e73e0/download
https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/084ca0a0-94f0-4491-992a-9aa6c8823b80/download
https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/3755987b-8893-48de-9d75-d1fb39dab6dd/download
https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/95f8989b-d26a-497f-a986-58105df7bccb/download
bitstream.checksum.fl_str_mv 4c394d2bbd48859c7855999972a4b947
0ee8975938fbaf0ea10fe90ce2b8abfd
914d3c5d7eabcd2add324203d1848104
4460e5956bc1d1639be9ae6146a50347
20b5ba22b1117f71589c7318baa2c560
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
MD5
MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositorio UAO
repository.mail.fl_str_mv repositorio@uao.edu.co
_version_ 1814259974757416960
spelling Román, Wilsonbab8cfc520ade2218cf5195f43d4a302-1López, Leonardo4ca7be5855701f9debf7ede783898942-1Riascos, Henryfe290278cea0f9939dd5bb01e74db542-1Universidad Autónoma de Occidente. Calle 25 115-85. Km 2 vía Cali-Jamundí2019-02-08T21:15:32Z2019-02-08T21:15:32Z2016-060121-0777http://hdl.handle.net/10614/10668Películas delgadas de carbón tipo diamante (DLC) y nitruro de boro fueron depositadas sobre sustratos de vidrio en forma de bicapas, usando la técnica de deposición por láser pulsado. Tal deposición se realizó con un láser Nd:YAG de 1064 nm (en el infrarrojo), energía de 500 mJ por pulso, 9 ns de duración del pulso y tasa de repetición de 10 Hz. Usando blancos de nitruro de boro (99.999 %) y grafito pirolítico (99.99 %) se crecieron bicapas de DLC/BN, respectivamente. Las capas de DLC se crecieron en atmósfera de argón, mientras que las de BN se crecieron en atmósfera de nitrógeno. La presión del gas de trabajo se varió entre 1,33 Pa a 5,33 Pa. La fluencia del láser y la temperatura del sustrato se mantuvieron constantes a 2J/cm2 y 150 ºC, respectivamente. Para determinar la influencia de la presión del gas ambiente sobre las propiedades físicas y químicas, se caracterizaron las películas mediante difracción de rayos X en haz rasante (GIXRD) y espectroscopia infrarroja con transformada de Fourier (FTIR); además, la morfología de las películas se estudió por medio de microscopia electrónica de barrido (SEM), las propiedades mecánicas se analizaron a través de nanoindentación y el espesor fue en promedio de 2,5 µm, determinado con perfilometría.application/pdfpáginas 47-53spaUniversidad Autónoma de OccidenteDerechos Reservados - Universidad Autónoma de Occidentehttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccessAtribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 Internacional (CC BY-NC-ND 4.0)http://purl.org/coar/access_right/c_abf2instname:Universidad Autónoma de Occidentereponame:Repositorio Institucional UAOcarbono tipo diamantenitruro de boronitrógenonitruro de boronitrógenoboroEstudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLDArtículo de revistahttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1Textinfo:eu-repo/semantics/articlehttp://purl.org/redcol/resource_type/ARTREFinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85PublicationTEXTA0052.pdf.txtA0052.pdf.txtExtracted texttext/plain26491https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/41aa6bb7-3a0f-4769-9d56-656a23f8ece5/download4c394d2bbd48859c7855999972a4b947MD54THUMBNAILA0052.pdf.jpgA0052.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg12706https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/6eae0b7e-b5c6-4761-ab8e-3066070e73e0/download0ee8975938fbaf0ea10fe90ce2b8abfdMD55ORIGINALA0052.pdfA0052.pdfapplication/pdf404129https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/084ca0a0-94f0-4491-992a-9aa6c8823b80/download914d3c5d7eabcd2add324203d1848104MD51CC-LICENSElicense_rdflicense_rdfapplication/rdf+xml; charset=utf-8805https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/3755987b-8893-48de-9d75-d1fb39dab6dd/download4460e5956bc1d1639be9ae6146a50347MD52LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81665https://dspace7-uao.metacatalogo.com/bitstreams/95f8989b-d26a-497f-a986-58105df7bccb/download20b5ba22b1117f71589c7318baa2c560MD5310614/10668oai:dspace7-uao.metacatalogo.com:10614/106682024-01-19 16:28:02.914https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/Derechos Reservados - Universidad Autónoma de Occidenteopen.accesshttps://dspace7-uao.metacatalogo.comRepositorio UAOrepositorio@uao.edu.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