Estudio de las propiedades estructurales y morfológicas en bicapas DLC/BN depositadas por PLD

Películas delgadas de carbón tipo diamante (DLC) y nitruro de boro fueron depositadas sobre sustratos de vidrio en forma de bicapas, usando la técnica de deposición por láser pulsado. Tal deposición se realizó con un láser Nd:YAG de 1064 nm (en el infrarrojo), energía de 500 mJ por pulso, 9 ns de duración del pulso y tasa de repetición de 10 Hz. Usando blancos de nitruro de boro (99.999 %) y grafito pirolítico (99.99 %) se crecieron bicapas de DLC/BN, respectivamente. Las capas de DLC se crecieron en atmósfera de argón, mientras que las de BN se crecieron en atmósfera de nitrógeno. La presión del gas de trabajo se varió entre 1,33 Pa a 5,33 Pa. La fluencia del láser y la temperatura del sustrato se mantuvieron constantes a 2J/cm2 y 150 ºC, respectivamente. Para determinar la influencia de la presión del gas ambiente sobre las propiedades físicas y químicas, se caracterizaron las películas mediante difracción de rayos X en haz rasante (GIXRD) y espectroscopia infrarroja con transformada de Fourier (FTIR); además, la morfología de las películas se estudió por medio de microscopia electrónica de barrido (SEM), las propiedades mecánicas se analizaron a través de nanoindentación y el espesor fue en promedio de 2,5 µm, determinado con perfilometría.

• Autores: Román, Wilson; López, Leonardo; Riascos, Henry
• Tipo de recurso: Article of journal
• Fecha de publicación: 2016
• Institución: Universidad Autónoma de Occidente
• Repositorio: RED: Repositorio Educativo Digital UAO
• Idioma: spa
• OAI Identifier: oai:red.uao.edu.co:10614/10668
• Acceso en línea: http://hdl.handle.net/10614/10668
• Palabra clave: carbono tipo diamante; nitruro de boro; nitrógeno; nitruro de boro; nitrógeno; boro
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