Crecimiento y caracterización de películas delgadas de carbón por la técnica MWCVD - Microwave Chemical Vapor Deposition
- Autores:
-
Arenas Correa, Mónica
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2011
- Institución:
- Universidad EAFIT
- Repositorio:
- Repositorio EAFIT
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repository.eafit.edu.co:10784/2808
- Acceso en línea:
- http://hdl.handle.net/10784/2808
- Palabra clave:
- Plasma (Gases Ionizados)
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