MODÉLISATION CONCEPTUELLE D’UNE UNITÉ DE FABRICATION MICROÉLECTRONIQUE

La modélisation des systèmes de production est difficile en raison du nombre et de la diversité des paramètres à prendre en compte et de la complexité des relations entre ces paramètres. Dans cet article, nous nous intéressons à l’étude d’une unité complètement automatisée de fabrication de wafers s...

Full description

Autores:
Montoya-Torres, Jairo R.
Tipo de recurso:
Article of journal
Fecha de publicación:
2013
Institución:
Universidad EIA .
Repositorio:
Repositorio EIA .
Idioma:
eng
OAI Identifier:
oai:repository.eia.edu.co:11190/4667
Acceso en línea:
https://repository.eia.edu.co/handle/11190/4667
https://revistas.eia.edu.co/index.php/reveia/article/view/167
Palabra clave:
modélisation
semi-conducteurs
process-interaction
réseaux de Petri. Palabras claves
modelación
semiconductores
redes de Petri
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openAccess
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Revista EIA - 2013
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description La modélisation des systèmes de production est difficile en raison du nombre et de la diversité des paramètres à prendre en compte et de la complexité des relations entre ces paramètres. Dans cet article, nous nous intéressons à l’étude d’une unité complètement automatisée de fabrication de wafers semi-conducteurs (fab). Dans la littérature, leur analyse est très souvent réalisée en utilisant des modèles de simulation à événements discrets, mais ces travaux ne présentent pas une véritable conceptualisation du modèle utilisé. L’objectif de cet article est de conceptualiser, à travers des méthodologies formelles, tous les composants d’une unité de production microélectronique: au niveau macro, le système physique de production et son système de supervision, ainsi que, au niveau micro, le processus de fabrication. Ces approches nous aideront à identifier les objets du modèle et leurs interactions permettant ensuite de développer un programme de simulation pour l’analyser du fonctionnement dynamique du system.Resumen: La modelación de los sistemas de producción es una tarea difícil debido al número y diversidad de variables que deben tenerse en cuenta y a la complejidad de las relaciones entre dichas variables. En este artículo, nos interesamos en el estudio de una unidad completamente automatizada para la fabricación de “wafers” semiconductores (llamada “fab”). En la literatura, el análisis se realiza comúnmente empleando modelos de simulación de eventos discretos, pero esos trabajos no presentan una verdadera conceptualización del modelo empleado. El objetivo de este artículo es conceptualizar, por medio de metodologías formales de modelación, todos los componentes de una planta de fabricación microelectrónica: en el nivel macro, el sistema físico de producción y su sistema de control, así como, en el nivel micro, el proceso de fabricación. Estos enfoques nos ayudarán a identificar los objetos del modelo y sus interacciones para permitir así el desarrollo de un programa de simulación para analizar el funcionamiento dinámico del sistema.
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Dans la littérature, leur analyse est très souvent réalisée en utilisant des modèles de simulation à événements discrets, mais ces travaux ne présentent pas une véritable conceptualisation du modèle utilisé. L’objectif de cet article est de conceptualiser, à travers des méthodologies formelles, tous les composants d’une unité de production microélectronique: au niveau macro, le système physique de production et son système de supervision, ainsi que, au niveau micro, le processus de fabrication. Ces approches nous aideront à identifier les objets du modèle et leurs interactions permettant ensuite de développer un programme de simulation pour l’analyser du fonctionnement dynamique du system.Resumen: La modelación de los sistemas de producción es una tarea difícil debido al número y diversidad de variables que deben tenerse en cuenta y a la complejidad de las relaciones entre dichas variables. En este artículo, nos interesamos en el estudio de una unidad completamente automatizada para la fabricación de “wafers” semiconductores (llamada “fab”). En la literatura, el análisis se realiza comúnmente empleando modelos de simulación de eventos discretos, pero esos trabajos no presentan una verdadera conceptualización del modelo empleado. El objetivo de este artículo es conceptualizar, por medio de metodologías formales de modelación, todos los componentes de una planta de fabricación microelectrónica: en el nivel macro, el sistema físico de producción y su sistema de control, así como, en el nivel micro, el proceso de fabricación. Estos enfoques nos ayudarán a identificar los objetos del modelo y sus interacciones para permitir así el desarrollo de un programa de simulación para analizar el funcionamiento dinámico del sistema.La modélisation des systèmes de production est difficile en raison du nombre et de la diversité des paramètres à prendre en compte et de la complexité des relations entre ces paramètres. Dans cet article, nous nous intéressons à l’étude d’une unité complètement automatisée de fabrication de wafers semi-conducteurs (fab). Dans la littérature, leur analyse est très souvent réalisée en utilisant des modèles de simulation à événements discrets, mais ces travaux ne présentent pas une véritable conceptualisation du modèle utilisé. L’objectif de cet article est de conceptualiser, à travers des méthodologies formelles, tous les composants d’une unité de production microélectronique: au niveau macro, le système physique de production et son système de supervision, ainsi que, au niveau micro, le processus de fabrication. Ces approches nous aideront à identifier les objets du modèle et leurs interactions permettant ensuite de développer un programme de simulation pour l’analyser du fonctionnement dynamique du system.Resumen: La modelación de los sistemas de producción es una tarea difícil debido al número y diversidad de variables que deben tenerse en cuenta y a la complejidad de las relaciones entre dichas variables. En este artículo, nos interesamos en el estudio de una unidad completamente automatizada para la fabricación de “wafers” semiconductores (llamada “fab”). En la literatura, el análisis se realiza comúnmente empleando modelos de simulación de eventos discretos, pero esos trabajos no presentan una verdadera conceptualización del modelo empleado. El objetivo de este artículo es conceptualizar, por medio de metodologías formales de modelación, todos los componentes de una planta de fabricación microelectrónica: en el nivel macro, el sistema físico de producción y su sistema de control, así como, en el nivel micro, el proceso de fabricación. Estos enfoques nos ayudarán a identificar los objetos del modelo y sus interacciones para permitir así el desarrollo de un programa de simulación para analizar el funcionamiento dinámico del sistema.application/pdfengFondo Editorial EIA - Universidad EIARevista EIA - 2013https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0info:eu-repo/semantics/openAccessEsta obra está bajo una licencia internacional Creative Commons Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0.http://purl.org/coar/access_right/c_abf2https://revistas.eia.edu.co/index.php/reveia/article/view/167modélisationsemi-conducteursprocess-interactionréseaux de Petri. Palabras clavesmodelaciónsemiconductoresredes de PetriMODÉLISATION CONCEPTUELLE D’UNE UNITÉ DE FABRICATION MICROÉLECTRONIQUEMODÉLISATION CONCEPTUELLE D’UNE UNITÉ DE FABRICATION MICROÉLECTRONIQUEArtículo de revistaJournal articlehttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionTexthttp://purl.org/redcol/resource_type/ARTREFhttp://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85https://revistas.eia.edu.co/index.php/reveia/article/download/167/636Núm. 7 , Año 200724794Revista EIAPublicationOREORE.xmltext/xml2527https://repository.eia.edu.co/bitstreams/b29f5cf0-1442-4a95-bbf8-774ee52a0819/download6b3c959724593e6513bb714089d828ecMD5111190/4667oai:repository.eia.edu.co:11190/46672023-07-25 17:01:28.913https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0Revista EIA - 2013metadata.onlyhttps://repository.eia.edu.coRepositorio Institucional Universidad EIAbdigital@metabiblioteca.com